電源開功率后，T,L值跑到99%后無法起輝
發(fā)布時間：2015-08-18 09:01 發(fā)布人：admin 瀏覽量：4236
1.如果之前是能正常使用的，出現(xiàn)這種情況多數(shù)是負載發(fā)生變化導(dǎo)致匹配范圍超出如真空度，腔體發(fā)生變化。
2.如果腔體及靶材沒有發(fā)生變化，可以檢查一下預(yù)置位置是否太偏?？梢試L試取一個T/L 50%的預(yù)置點來重新匹配?；蛘邍L試手動調(diào)節(jié)T/L是否能夠達到匹配。
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